2021-03-30
传统上,难以到达的表面通过复制模具并将复制品置于轮廓仪下进行测量。
轮廓仪按照工作原理不同,可分为接触式轮廓仪(触针式)和光学3D表面轮廓仪(白光干涉仪)。
使用基于光纤的轮廓测量仪,可以直接测量难以触及的表面。
基于光纤的探头可以扫描难以触及的表面,如柴油喷嘴,枪管和整体叶盘等。
低相干干涉测量(LCI)是一种非接触式光学传感技术。
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光学探针将低相干光束引导到样品表面,并通过光纤将反射光信号发送到干涉检测器(干涉仪)进行解算。 当如图所示,测量的样品由一叠半透明材料层组成时,同时从每层的顶部和底部接收光反射。
探头扫描形式:直视、侧视(90°)
测针直径:0.5-30mm, 光斑大小15-35um, 测针长度:50-300mm
Microcam4D采样频率:每秒30,000个点
探头测量精度和重复性:1um6 Q' ~; s" s3 s1 K3 M